3月18日至20日,2026慕尼黑上海光博會在上海新國際博覽中心舉辦。作為亞洲光電產(chǎn)業(yè)重要展會,本屆展會以“光啟新元·勢引未來”為主題,匯聚全球超1200家光電企業(yè),共話行業(yè)創(chuàng)新發(fā)展。

玉之泉展臺(受訪者供圖)
杭州玉之泉精密儀器有限公司攜五大系列自研直寫光刻產(chǎn)品亮相,集中展示我國在微納加工領(lǐng)域的國產(chǎn)化技術(shù)突破。

玉之泉展示直寫光刻系統(tǒng)(受訪者供圖)
玉之泉源自浙江大學(xué)玉泉校區(qū),秉承“求是創(chuàng)新”精神,長期專注直寫光刻系統(tǒng)研發(fā),致力于推動高端光刻裝備國產(chǎn)化替代。展會現(xiàn)場,玉之泉展臺吸引眾多行業(yè)專家、科研機構(gòu)及企業(yè)代表參觀洽談,交流氛圍熱烈。

玉之泉展臺(受訪者供圖)
本次展出的全系產(chǎn)品覆蓋微納光學(xué)、量子芯片、生物醫(yī)療等多個前沿領(lǐng)域,技術(shù)指標與應(yīng)用場景均實現(xiàn)重要突破。其中,雙光子三維激光直寫光刻系統(tǒng)可實現(xiàn)50nm特征尺寸加工,為微流控芯片等前沿研究提供支撐;AOD紫外激光直寫光刻系統(tǒng)最小線寬達300nm,填補國內(nèi)高端紫外直寫設(shè)備空白;飛秒激光微納加工系統(tǒng)為特種光纖領(lǐng)域提供從科研到量產(chǎn)的全流程解決方案;UVD數(shù)字投影無掩膜光刻系統(tǒng)無需掩膜版,適配MEMS、量子芯片快速原型開發(fā);VOP生物體打印光刻系統(tǒng)大幅提升加工效率,可實現(xiàn)載細胞材料高精度成型。

玉之泉創(chuàng)始人CEO張舟洋(受訪者供圖)
公司創(chuàng)始人、CEO張舟洋在接受采訪時表示,慕尼黑上海光博會為企業(yè)展示成果、對接產(chǎn)業(yè)提供了重要平臺。玉之泉的技術(shù)布局與國家在量子科技、生物制造等領(lǐng)域的戰(zhàn)略方向高度契合。未來,企業(yè)將持續(xù)推進技術(shù)迭代,擴大產(chǎn)能布局,拓展全球市場,以自主創(chuàng)新助力高端科學(xué)儀器國產(chǎn)化,推動中國直寫光刻技術(shù)與裝備走向國際市場。

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